Форма обучения очная



Скачать 15.49 Mb.
Pdf просмотр
страница114/399
Дата03.03.2020
Размер15.49 Mb.
ТипРеферат
1   ...   110   111   112   113   114   115   116   117   ...   399
18.03.01
Химическая технология
Профиль подготовки «Технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники
»
ФОРМА ОБУЧЕНИЯ – ОЧНАЯ
СРОК ОСВОЕНИЯ ООП – 4 ГОДА особенности. Установки для ионного легирования. Технология ионного легирования. Ионно- лучевая литография высокомолекулярных органических резистов и неорганических твердых слоев.
Модификация твердого тела при ионной бомбардировке. Структурные превращения при ионной бомбардировке. Ионный синтез, ионная металлургия, ионная эпитаксия. Ионное распыление материалов. Физика процессов распыления материалов при ионной бомбардировке. Ионное травление поверхности. Ионно-лучевые методы осаждения покрытий. Ионное распыление и получение тонких пленок. Оборудование ионного распыления. Получение пленок сложного состава. Технология и оборудование магнетронного распыления. Высокочастотное распыление.
Вакуумно-дуговое осаждение покрытий из плазмы материала электродов. Ионные и ионно-лучевые методы исследования и контроля поверхности твердого тела. Проверка технического состояния, профилактические осмотры плазменного оборудования. Виды работ по техническому обслуживанию и ремонту ионно-лучевого промышленного оборудования.


Скачать 15.49 Mb.

Поделитесь с Вашими друзьями:
1   ...   110   111   112   113   114   115   116   117   ...   399




База данных защищена авторским правом ©zodorov.ru 2020
обратиться к администрации

    Главная страница