Форма обучения очная


Модуль 3. Теоретические основы процесса диффузии примесей. Методы моделирования



Скачать 15.49 Mb.
Pdf просмотр
страница160/399
Дата03.03.2020
Размер15.49 Mb.
ТипРеферат
1   ...   156   157   158   159   160   161   162   163   ...   399
Модуль 3. Теоретические основы процесса диффузии примесей. Методы моделирования
процесса диффузии примесей.
Основные механизмы диффузии примесей в кристаллической решетке. Связанная диффузия.
Коэффициент диффузии, зависимость от температуры и концентрации носителей. Модель связанной диффузии, основные уравнения. Граничные и начальные условия в моделировании диффузии. Моделирование кластеризации примеси. Особенности диффузии различных типов примеси. Взаимное влияние примесей в процессе диффузии. Неравновесные эффекты при диффузии, двумерное моделирование диффузионных процессов, диффузия при низкой и высокой концентрации примеси, система моделирования диффузионных процессов методом конечных элементов.
Модуль 4. Теоретические основы процесса ионной имплантации. Методы моделирования


Скачать 15.49 Mb.

Поделитесь с Вашими друзьями:
1   ...   156   157   158   159   160   161   162   163   ...   399




База данных защищена авторским правом ©zodorov.ru 2020
обратиться к администрации

    Главная страница