Форма обучения очная


процесса ионной имплантации



Скачать 15.49 Mb.
Pdf просмотр
страница161/399
Дата03.03.2020
Размер15.49 Mb.
ТипРеферат
1   ...   157   158   159   160   161   162   163   164   ...   399
процесса ионной имплантации.
Ионная имплантация, механизмы торможения ионов. Теория Линдхарда-Шарффа-Шлотта, диффузионная модель Бирсака. Эффект каналирования. Системы координат при моделировании ионной имплантации. Моделирование ионной имплантации методом Монте-Карло. Аналитические аппроксимации распределения ионов. Функции Гаусса. Распределения Пирсона-IV. Аналитические аппроксимации распределения ионов, учитывающие эффект каналирования. Распределения постимплантационных дефектов. Особенности моделирования ионной имплантации в многослойных мишенях. Эффект распыления мишени. Имплантация и распыление; боковое уширение распределения ионов, диффузионные эффекты; отжиг имплантированных структур.


Скачать 15.49 Mb.

Поделитесь с Вашими друзьями:
1   ...   157   158   159   160   161   162   163   164   ...   399




База данных защищена авторским правом ©zodorov.ru 2020
обратиться к администрации

    Главная страница