Форма обучения очная


Модуль 3. Технология плазменной обработки полимерных материалов



Скачать 15.49 Mb.
Pdf просмотр
страница24/399
Дата03.03.2020
Размер15.49 Mb.
ТипРеферат
1   ...   20   21   22   23   24   25   26   27   ...   399
Модуль 3. Технология плазменной обработки полимерных материалов. Применение органических веществ в технологии материалов и изделий электронной техники и требования к ним с точки зрения плазмохимических процессов. Свойства кислородной плазмы и ее воздействие на полимеры. Кинетические закономерности и выбор оптимальных режимов проведения процесса.
Модуль 4. Контроль и управление плазменными процессами. Способы генерации плазмы.
Периодические разряды. Взаимосвязи между внешними и внутренними параметрами плазмы.
Методы контроля внутренних параметров и состава плазмы: метод зондов Лангмюра, масс- спектральные методы, оптико-спектральные методы (абсорбционная спектроскопия, эмиссионная спектроскопия, актинометрия, лазерно-индуцированная флуоресценция). Методы контроля скорости травления и состояния обрабатываемой поверхности. Принципы автоматизированного управления плазменными процессами.


Скачать 15.49 Mb.

Поделитесь с Вашими друзьями:
1   ...   20   21   22   23   24   25   26   27   ...   399




База данных защищена авторским правом ©zodorov.ru 2020
обратиться к администрации

    Главная страница