Форма обучения очная


Модуль 5. Перспективы применения плазменных процессов в технологии



Скачать 15.49 Mb.
Pdf просмотр
страница25/399
Дата03.03.2020
Размер15.49 Mb.
ТипРеферат
1   ...   21   22   23   24   25   26   27   28   ...   399
Модуль 5. Перспективы применения плазменных процессов в технологии. Технология изготовления интегральных микросхем на пороге нового тысячелетия. Плазменные процессы в производстве вакуумных и газоразрядных приборов. Плазменные процессы в машиностроении и металлообработке. Плазмохимические технологии в текстильной и легкой промышленности.
Плазма и охрана окружающей среды.
Модуль 6. Структура и свойства тонких пленок, методы их контроля
Физические свойства тонких пленок: толщина, внутренние напряжения, адгезионная прочность, электрическое сопротивление.
Методы контроля: интерферометрия, эллипсометрия, микрогравиметрия, в том числе с использованием пьезокварцевых резонаторов.


Скачать 15.49 Mb.

Поделитесь с Вашими друзьями:
1   ...   21   22   23   24   25   26   27   28   ...   399




База данных защищена авторским правом ©zodorov.ru 2020
обратиться к администрации

    Главная страница