Форма обучения очная


Модуль 4. Откачные вакуумные системы и принципы их конструирования



Скачать 15.49 Mb.
Pdf просмотр
страница31/399
Дата03.03.2020
Размер15.49 Mb.
ТипРеферат
1   ...   27   28   29   30   31   32   33   34   ...   399
Модуль 4. Откачные вакуумные системы и принципы их конструирования.
Основные параметры вакуумных систем. Особенности конструкций систем низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума. Методы расчета многоступенчатых вакуумных установок.
Определение эффективной быстроты откачки и давления газа в установке и выбор откачной системы. Конструктивные элементы вакуумных систем, общие сведения. Разъемные и неразъемные соединения, вентили, клапаны, вспомогательное оборудование. Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании, виды шлюзовых систем: закрытые, открытые, полуоткрытые и комбинированные системы. Особенности вакуумных систем для электронной технологии. Конструкции вакуумных напылительных установок. Влияние вида вакуумной откачной системы на процесс напыления, практические рекомендации.


Скачать 15.49 Mb.

Поделитесь с Вашими друзьями:
1   ...   27   28   29   30   31   32   33   34   ...   399




База данных защищена авторским правом ©zodorov.ru 2020
обратиться к администрации

    Главная страница